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进口压力传感器系列

MPG400/MPG401冷阴极和皮拉尼的复合真空规

产品分类:进口压力传感器系列

产品介绍

    INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性。

MPG400冷阴极和皮拉尼的复合真空规的详细介绍
优点:
复合真空规—冷阴极与皮拉尼
宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压
无可烧毁的灯丝
卓越的引燃功能
易清洗
FPM或金属密封的馈入件
高压加上时LED指示灯亮
对数模拟输出讯号
应用:
高真空压强监测
蒸发和溅射系统的压强测量
一般真空测量和控制,从中至高真空范围
技术参数:

 测量范围 (空气, N2)

 
毫巴()
5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±30%
重复性1 x 10-8 … 100毫巴
% 读值
≈±5%
安装方向
 
任何
允许压强
(绝对)
≤10 (限于惰性气体)
允许温度
工作 (室温)
贮存 
烘烤 1)
灯丝温度 (皮拉尼)
 
°C
°C
°C
°C
 
+5 … +55
–40 … +65
150
120
电源电压
 
 
在规管上
V DC
+15 … +30
在供电单元上, 最大电缆长度 2)
V DC
+16 … +30
纹波
Vpp
≤1
功耗
W
≤2
连接保险丝
AT
≤1
输出讯号(测量讯号)
 
 
电压范围
V
0 … +10.5
测量范围
V
+1.82 … +8.6
电压与压强的关系
 
对数, 0.6 V/量级
误差讯号
V
<0。5 (无电源)
 
V
>9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂)
输出阻抗
?
2 x 10
最小负载阻抗
k?
10, 短路保护
响应时间      p > 10-6 毫巴
毫秒
<10
p = 10-8 毫巴
毫秒
≈1000
规管标识
k?
85, 参考电源公共点
状态
 
 
仅皮拉尼模式
V
0 ()
复合皮拉尼 / 冷阴极模式
V
15 … 30 ()
指示灯
LED 绿色
高压on
电气连接
 
FCC 68 设备连接件, 8,凹型
传感器电缆
 
8,加屏蔽
电缆长度
≤50 (8 x 0.14 毫米2)
工作电压
千伏
≤3.3
工作电流
微安
≤500
暴露于真空的材料
 
不锈钢, Al2O3, FPM75,    Mo, Ni, Au, W
不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn               Mo, Ni, Au, W
内容积
厘米3
≈20
重量
上一个 PEG100潘宁规
 
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