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MKS质量流量控制器

1579A高流量质量流量计 控制器

产品分类:MKS质量流量控制器

产品介绍

1579A高流量质量流量计 控制器

1579A是一种通用的弹性密封的大流量的质量流量控制器,可在生产,分析,工业以及测试等多种应用场合测量和控制气体的流量,其量程为50SLM到300SLM。
1579A数字控制电路与平衡阀的结合,具有1秒以内的响应时间。 
 
技术参数:
全 量 程:50SLM,100SLM,200SLM,300SLM。
控制量程:2% to 100% 的全量程。
测量精度:全量程的1% (也可配读数的0.8%或全量程0.2%)
灵 敏 度:全量程的0.1%
热机时间:小于30Min.
响应速度:小于1Sec.
输入电压:20-30VDC@300ma
输出电压:0-5VDC
连接器:模拟: 2*9Pin或15Pin Male
             数字: Profibus Female
法兰接口:Swagelok 8VCR,Swagelok8 VCO,Swage 1/2”等
材质:316 不锈钢。
 

例: 型号1579A01332LR1BV   
   
校准气体(SEMI气体编号)*  
Helium, He                                                  1
Argon, Ar                                                      4
Hydrogen H2                                              7
Nitrogen, N2                                              13
Oxygen, O2                                                15
   
流量校准SLM (相当氮气最大300SLM)
50                                                               51L
100                                                            12L
200                                                            22L
300                                                            32L
   
装配件  
Swagelok 8 VCR                                       R
Swagelok 8 VCO                                       G
12 mm Swagelok                                      M
½” Swagelok                                              S
DN 16 KF                                                    D
Swagelok 4 VCR (仅有50 slm)               V
   
阀  
常闭                                                              1
   
连接器  
模拟15 针 D                                               B
数字Profibus DP                                        4
   
密封材料  
Viton                                                            V
Buna-N                                                       B
Neoprene                                                   N
Kalrez                                                          K
   
固化软件 (仅有Profibus) XX 
 
1579A电缆  
型号CB147-12-10用来将1579A 9 针 D型连接到PR4000, 146, 186, 246, 167, 647
型号CB259-12-10用来将1579A 9 针 D型连接到PR4000, 146, 186, 246, 167, 647

 

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