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MKS质量流量控制器

MKS GE50A质量流量控制器

产品分类:MKS质量流量控制器

产品介绍

GE50A质量流量控制器

GE50A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。

对于当今市场上的质量流量控制器,GE50A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%。

技术参数:

全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。

控制量程:2% to 100%的全量程。

测量精度:全量程的1%

灵敏度:全量程的0.1%

热机时间:小于2Min.

响应速度:小于2Sec。

输入电压:±15VDC@100ma

输出电压:0-5VDC

连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

数字:RS485或Device net或Profibus

法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等

材质:316不锈钢。

爱波彩票APP 质保期:有限保修自售出之日起12个月。

上一个 CDG025D-377-001真空压力计
 
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