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HORIBA质量流量控制器

LF-F/LV-F 液体微小质量流量计/控制器

产品分类:爱波彩票APPHORIBA质量流量控制器

产品介绍

概要

搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器

特征

  • 通过采用数字回路,实现了高精度・高速响应。
  • 可以进行微升以上的微小流量控制。
  • 可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
  • 超洁净类型

規格

 

名称

质量流量计

型号

LF-F20M-A

LF-F30M-A

爱波彩票APP LF-F40M-A

爱波彩票APP LF-F50M-A

LF-F60M-A

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0。2/0。5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5〜100% F.S.

对象液体种类 *1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

液体粘度 *2

最大值. 0.1 Pa·s (100cp)

精度 *3

±1% F.S.

直线性 *3

爱波彩票APP ±0.5% F.S.

重复性 *3

±0。5% F。S。

响应精度

3秒以内 (T98)

2秒以内 (T98)

使用环境温度 *4

5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)

温度影響 Span

±0。1%F。S。/℃ 最大值±1%

工作差压值值 *5

最大值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo 控制阀)

耐压

10MPa (视为流量计)

压力損失

最大值。 500Pa

流量设定信号

模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟:0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式:RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

爱波彩票APP +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏规格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材质

SUS316L, Ni

爱波彩票APP 标准接头

1/16” , 1/8” SWL类型, 1/8” VCR 类型

1/8” SWL类型, 1/8” VCR 类型

1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型

名称

质量流量控制器

型号

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全标度流量(g/min)

0。02/0。05/0。1

0。2/0。5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5〜100% F.S.

对象液体种类 *1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

液体粘度 *2

最大值。 0。01 Pa·s (10cp)

精度 *3

±1% F.S.

直线性 *3

±0.5% F.S.

重复性 *3

±0。5% F。S。

响应精度

3秒以内 (T98)

2秒以内 (T98)

爱波彩票APP 使用环境温度 *4

爱波彩票APP 5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)

温度影响Span

±0。1%F。S。/℃ 最大值±1%

工作差压值 *5

0.05〜0.3MPa

耐压

1MPa

压力损失

流量设定信号

模拟:0。25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式:RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟:0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式:RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

爱波彩票APP +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏规格

PO 类型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型: 5×10-12Pa•m3/s (He)

接液部材质

PO 类型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 类型: SUS316L,Ni

标准接头

1/16” , 1/8” SWL类型, 1/8” VCR 类型

1/8” SWL类型, 1/8” VCR 类型

1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型

*1: LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时,请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时,请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2: LF-F类型质量流量控制器根据流量量程,可以适用到 最大值, 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3: 以SEMI E56-1296 为准。
*4: 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时,使用时请把温差控制在10℃以 内;如果高于液体温度时,使用时请把温差控制在3℃以内。
*5:这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。

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